【摘 要】
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本文报导了用微波介质波导反射法无接触测量半导体电阻率的实验装置.利用该装置测量了一组样品的电阻率与温度(100～500K)关系,讨论了载流子迁移率与温度关系和Dorkel的半经验
【机 构】
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复旦大学物理系,复旦大学物理系,复旦大学物理系
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本文报导了用微波介质波导反射法无接触测量半导体电阻率的实验装置.利用该装置测量了一组样品的电阻率与温度(100～500K)关系,讨论了载流子迁移率与温度关系和Dorkel的半经验公式.
In this paper, a noncontact measurement of the electrical resistivity of a semiconductor device using microwave dielectric waveguide reflectometry is reported.The relationship between the resistivity and temperature (100 ~ 500K) of a group of samples is measured and the relationship between carrier mobility and temperature and Dorkel’s semi-empirical formula.
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