微机电系统制造工艺综述

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微机电系统(MEMS)是基于集成电路和微机械加工技术发展起来的机械系统,本文阐述了国内外微机电系统发展的情况,论述了微机电系统制造技术的种类、方法、材料及应用领域,总结了湿法刻蚀、干法深刻蚀、表面微加工三种常用的MEMS加工工艺的原理、加工方法及应用,并基于目前的加工技术与应用现状对MEMS加工工艺的未来进行展望,提出从利用负压技术、刻蚀溶液或刻蚀气体的选择、调整循环速率等方向进行研究,从而改进MEMS加工工艺,实现微机电系统的突破发展。
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<正> 胎前之病甚多,然以大要分之,有二大别:一为因胎以成病者;一为因病而碍胎者。因病碍胎,无论外感内伤,均能致此,当于杂病门中求之。惟未伤胎时,以去病为主,安胎
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