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基于柔性铰链结构的二维微动工作台的设计分析
基于柔性铰链结构的二维微动工作台的设计分析
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong479
【摘 要】
:
介绍了基于压电陶瓷驱动器(PZT)驱动的二维微动工作台。该微动台采用双柔性平行四连杆结构,运用参数化的分析方法求得铰链各尺寸对微动台固有频率、应力以及刚度的影响,将理论分
【作 者】
:
张建雄
孙宝元
【机 构】
:
大连理工大学
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
2006年5期
【关键词】
:
压电陶瓷驱动器(PZT)
微动工作台
柔性铰链
参数化法
PZT
micro-positioner
flexure hinges
parameterize
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介绍了基于压电陶瓷驱动器(PZT)驱动的二维微动工作台。该微动台采用双柔性平行四连杆结构,运用参数化的分析方法求得铰链各尺寸对微动台固有频率、应力以及刚度的影响,将理论分析、有限元计算和试验测试的结果相结合,提出了一种微动台的设计方法。
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