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表面微加工悬臂梁断裂失效可靠度预测
表面微加工悬臂梁断裂失效可靠度预测
来源 :中国机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:littlev19
【摘 要】
:
MEMS的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的乙的一个基本结构,阐述了多晶硅微悬臂梁的断裂失效机理.利用宏观机械理论中的应力-强度干涉理论对表面微加工的多晶硅微悬臂
【作 者】
:
姜理利
唐洁影
【机 构】
:
东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
:
中国机械工程
【发表日期】
:
2005年z1期
【关键词】
:
MEMS
微悬臂梁
失效
可靠度
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MEMS的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的乙的一个基本结构,阐述了多晶硅微悬臂梁的断裂失效机理.利用宏观机械理论中的应力-强度干涉理论对表面微加工的多晶硅微悬臂梁的断裂可靠性进行预测,建立了在均匀的表面载荷下的断裂可靠度预测模型.
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