【摘 要】
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采用一种新型线性离子束PVD技术制备出大面积类金刚石薄膜（DLC膜）, 研究了衬底负偏压对薄膜微结构和物性的影响. 结果表明： 制备出的类金刚石薄膜在300 mm × 100 mm 范围内
【机 构】
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中国科学院宁波材料技术与工程研究所
【基金项目】
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浙江省科技攻关资助项目2008C21055和宁波市国际合作资助项目2008B10046.
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采用一种新型线性离子束PVD技术制备出大面积类金刚石薄膜（DLC膜）, 研究了衬底负偏压对薄膜微结构和物性的影响. 结果表明： 制备出的类金刚石薄膜在300 mm × 100 mm 范围内纵向厚度均方差约10--12 nm, 横向薄膜厚度均方差约2--4 nm. 随着衬底偏压的提高, 薄膜中sp3键的含量先增加后减小, 在衬底偏压为-100 V时sp^3键的含量最大; DLC膜的残余应力、硬度和弹性模量与sp3键的含量呈近似线性的关系, 在衬底偏压为-100 V时其最大值分别为3.1 GPa、2
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