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以三乙酰丙酮铱为先驱体，采用金属有机物化学气相沉积法，通过变温多次沉积在石英基片和热解碳层上制备出多层Ir涂层。XRD研究表明，Ir涂层呈多晶态。试样冲击断裂后，SEM观察横截面显示，涂层与基片以及涂层之间结合良好，无层间开裂发生。内层涂层虽然有孔隙缺陷，但经多次沉积，后继制备的涂层能很好地将其封填。