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90nm及未来技术节点的器件开发具有两个十分显著的技术设计特点。一个是注重高性能器件，另一个是靠系统芯片（SoC），包括低功率、移动射频等应用的推动。
纳米技术时代晶圆的设计与加工
【摘 要】
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90nm及未来技术节点的器件开发具有两个十分显著的技术设计特点。一个是注重高性能器件，另一个是靠系统芯片（SoC），包括低功率、移动射频等应用的推动。
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2006年5期
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