【摘 要】
：
日本电气学会杂志1989年第3期报导,日立制做所采用热分子束法开发了极低损伤、高选择性微细加工干法腐蚀技术。目前半导体器件制做中通常采用等离子腐蚀法。但等离子刻蚀中
论文部分内容阅读
日本电气学会杂志1989年第3期报导,日立制做所采用热分子束法开发了极低损伤、高选择性微细加工干法腐蚀技术。目前半导体器件制做中通常采用等离子腐蚀法。但等离子刻蚀中的高能(20～1000eV)粒子和电荷粒子不可避免地会引起表面损伤,随着集成度不断
Journal of Japan Society of Electrical magazine in 1989 No. 3 reported Hitachi system using the hot molecular beam method to develop a very low damage, high selective micro-machining dry etching technology. At present, the plasma etching method is usually used in the fabrication of semiconductor devices. However, high-energy (20-1000 eV) particles and charge particles in plasma etching inevitably cause surface damage. As the degree of integration continues
其他文献
近年来,山东省枣庄市市中区纪委、监察局紧紧抓住容易滋生权钱交易等腐败现象的环节和领域,着眼权力制约,规范广大党员干部从政行为,积极构建源头治腐体系,通过建立四个“中
On January 15 to January 16.2008,Department of Social Development of Ministry of Science and Technology of the People's Republic of China,the Office of the Nati
正当全国2800多个县域准备迎接百强县评比时,最终得到的结果是百强榜单的悄然取消。对全国各地的县域来说,在以招商引资为一号工程的增长方式下,榜上榜下显然两重天地。正因
高三语文复习进入高度紧张备战的时刻,教师教学内容多、学生学习任务重等诸多问题一直困扰着全体高三师生。时间紧、难度大,高三语文教师如何制定有效地复习计划,成为教学中
中耳气体总量取决于连接中耳和鼻咽的咽鼓管的气体交换和中耳及通过中耳粘膜的血容量之间的交换。中耳气化程度指残留于中耳腔的气体总量多于进入中耳腔的气体 ,从而使中耳呈
今年的4月18日,是浦东开发开放18周年纪念日,在这个不平凡的日子,在这个春天的季节,本刊编撰一组文章,从浦东的丰度、高度、深度、力度、宽度、气度等不同视角解读浦东、诠释
加快经济发展,新型工业化是第一推动力。要以民营企业为支撑,以资源整合为手段,以工业园区为载体,以信息融入为动力,以节能降耗为方向,加快产业集群打造,促进工业提速提质发
中国橡胶工业协会机头模具分会七届三次会员代表大会于2010年3月14～16日在青岛召开,来自34家会员单位的55名代表参加了会议。中国橡胶工业协会会长范仁德、常务副会长兼秘书长
力学做为现阶段的高中物理重点知识,在高考中占有很大的比率,不仅因为后面的电磁学也需要采用力学的基础来进行分析,最重要的是力学的无处不在,与现实生活联系的极其紧密。本
3月2日，是一个阳光明媚，春到江南气象新的日子。全国著名的商贸城浙江省台州市路桥区的人们正忙碌着各自的生意。时间转向11时零5分，突然间，一阵阵炸雷般的声音震响了商城的一方