【摘 要】
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本文介绍了我们研制的CFX-I型全聚焦直进式x射线谱仪的原理、结构、精度分析和实测结果。该谱仪具有波长分辨率高及信号峰背比高等特点,既可应用于弯晶x射线荧光光谱仪,而且
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本文介绍了我们研制的CFX-I型全聚焦直进式x射线谱仪的原理、结构、精度分析和实测结果。该谱仪具有波长分辨率高及信号峰背比高等特点,既可应用于弯晶x射线荧光光谱仪,而且因其体积小,传动精度高,也适合于配置在电子显微分析仪器中,如近代的电子探针和扫描电子显微镜,以进行成分的定性、定量分析。
This paper introduces the principle, structure, precision analysis and measured results of the CFX-I full-focus straight-ahead x-ray spectrometer we developed. The spectrometer has the characteristics of high wavelength resolution and high signal-to-background ratio, which can be applied to curved X-ray fluorescence spectrometer. Because of its small size and high transmission precision, the spectrometer is also suitable for electron microscopy analysis equipment such as Modern electronic probes and scanning electron microscopy, for qualitative and quantitative analysis of ingredients.
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