【摘 要】
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提出了一种基于系统模型的快速退火炉温度控制方法。首先采用分段线性化方法和系统辨识方法获得精确的快速退火炉系统模型；然后将该系统模型作为温度控制器的前馈控制，用来提前
【机 构】
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国防科学技术大学机电工程与自动化学院,中国电子科技集团公司第四十八研究所
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提出了一种基于系统模型的快速退火炉温度控制方法。首先采用分段线性化方法和系统辨识方法获得精确的快速退火炉系统模型；然后将该系统模型作为温度控制器的前馈控制，用来提前预测控制输出，提高系统的响应速度，并在此基础上增加反馈控制通道，用来修正模型误差和外界干扰。最后，将此温度控制器应用在我们自主研发的快速退火炉系统上，实验验证了此温度控制器的有效性。
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