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用一种简单的方法制得MgO的前驱溶液并用溶胶凝胶法在Si(100)和Si(111)衬底上制备出( 111 )择优取向的MgO薄膜.使用X射线衍射曲线、摇摆曲线、原子力显微镜图来研究薄膜的微结构与基板取向、退火温度、薄膜厚度之间的关系.结果表明,在退火温度高于500 ℃时结晶,Si衬底的取向对MgO薄膜的取向没有显著影响.同时,退火温度的升高和薄膜厚度的增加都能使MgO(111)的择优取向性越来越好; Si的易氧化是导致镁醇盐经过高温分解结晶形成MgO(111)择优取向的主要原因.