【摘 要】
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通过激活能测试装置测量VHF-PECVD高速沉积的本征微晶硅薄膜的激活能,结果表明:在不同沉积条件下制备的本征微晶硅薄膜,晶化处于非晶-微晶相变域附近,激活能都偏低,存在氧污
【机 构】
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滨州学院物理与电子科学系,郑州大学材料物理教育部重点实验室,
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通过激活能测试装置测量VHF-PECVD高速沉积的本征微晶硅薄膜的激活能,结果表明:在不同沉积条件下制备的本征微晶硅薄膜,晶化处于非晶-微晶相变域附近,激活能都偏低,存在氧污染问题,研究了氧污染解决途径。
The activation energy of the intrinsic microcrystalline silicon thin films deposited at high speed by VHF-PECVD was measured by activating the energy-test device. The results show that the intrinsic microcrystalline silicon films prepared under different deposition conditions crystallize in the amorphous-microcrystalline phase transition domain Near the activation energy is low, there is the problem of oxygen pollution, oxygen pollution research approach.
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