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采用静电场力作用下二维三阶段微梁的静力分析模型，分析了影响两侧下拉电极MEMS压控电容可控范围的因素，这些因素包括：驱动电极的位置、电容极板的初始间隙、电容极板长度、介质层的厚度、介质的介电常数等，通过分析可以了解各因素对MEMS压控电容性能的影响以及这些因素之间的一些相互制约关系。分析结果可望能为两侧下拉电极MEMS压控电容的设计提供一些理论指导。