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本文概括了MOCVD设备中石墨盘的失效形式以及相应的危害。运用流体,热场和应力场耦合的有限元方法对MOCVD腔体进行模拟,重点模拟石墨盘在正常工作、加热器三区各自分别失效以及升温过程中的热应力,并分析石墨盘的失效原因。结合石墨盘破损案例和模拟结果,提出一种热稳定性更好的石墨盘结果,并分析了新石墨盘结构的主要参数对石墨盘热可靠性的影响。