变栅距衍射光栅的原理及应用

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：buzi899

【摘要】

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变栅距衍射光栅(VLS)在像差校正等方面具有突出优点,采用不同的栅距变化规律的变栅距光栅具有不同的光谱特性,因而在众多的高技术领域获得了广泛应用.本文从VLS的像差校正原

【作者】

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时轮郝德阜

【机构】

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吉林工学院机电学院,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

【出处】

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光学精密工程

【发表日期】

：

2001年3期

【关键词】

：

变栅距衍射光栅像差校正 VLS varied linespace gratings(VLS) aberrationcorrection applicatio

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变栅距衍射光栅(VLS)在像差校正等方面具有突出优点,采用不同的栅距变化规律的变栅距光栅具有不同的光谱特性,因而在众多的高技术领域获得了广泛应用.本文从VLS的像差校正原理出发,较全面地阐述了VLS在真空紫外和软X射线、高分辨率光电探测器、表面干涉计量以及光纤通讯等领域的应用,并针对其技术特点指出了它的发展趋势.

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