【摘 要】
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在器件技术、工艺技术、材料技术的进步和半导体工业迅速发展的促进下,半导体制造设备取得了迅猛的持续的增长。在日本,近年来由于设备向国产化方向发展,使得设备市场更加呈
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在器件技术、工艺技术、材料技术的进步和半导体工业迅速发展的促进下,半导体制造设备取得了迅猛的持续的增长。在日本,近年来由于设备向国产化方向发展,使得设备市场更加呈现出一派繁荣景象。今后继续活跃的技术革命还将使半导体设备产业继续发展。
In the device technology, process technology, material technology advances and the rapid development of the semiconductor industry, the semiconductor manufacturing equipment has achieved rapid and sustained growth. In Japan, in recent years, due to the equipment to the direction of localization, making the equipment market even more showing a boom. Continued active technological revolution in the future will also enable the semiconductor equipment industry to continue its development.
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