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利用电子辐照退火法筛选抗辐射晶体管的研究林茂清（原子核科学技术研究所）随着空间技术和核技术的发展，半导体器件的核加固已取得不少成果．在制造工艺中加固的晶体管抗辐射平均水平有了较大提高．然而，由于材料和工艺的复杂性，即使用同一材料同时加固的同批晶体管，...
利用电子辐照退火法筛选抗辐射晶体管的研究
【摘 要】
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利用电子辐照退火法筛选抗辐射晶体管的研究林茂清（原子核科学技术研究所）随着空间技术和核技术的发展，半导体器件的核加固已取得不少成果．在制造工艺中加固的晶体管抗辐射平均水
【机 构】
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原子核科学技术研究所
【出 处】
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四川大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1996年4期
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