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本文介绍了激光干涉测量常见的应用，分析了本领域利用激光干涉原理测量长度、厚度、物体表面轮廓面貌的专利申请情况。通过对激光干涉测量领域专利的不同年份、不同国家、不同申请人的数据统计，分析了激光干涉测量领域技术的发展状况和专利申请情况。
激光干涉测量专利申请浅析
【摘 要】
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本文介绍了激光干涉测量常见的应用，分析了本领域利用激光干涉原理测量长度、厚度、物体表面轮廓面貌的专利申请情况。通过对激光干涉测量领域专利的不同年份、不同国家、不同
【机 构】
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国家知识产权局专利局专利审查协作广东中心
【出 处】
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山东工业技术
【发表日期】
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2017年15期
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