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采用自制10kW微波等离子体装置，在CH4/H2气源中添加不同浓度O2，探讨了O2对金刚石薄膜生长的影响。利用扫描电子显微镜、激光拉曼光谱仪以及X射线衍射仪对金刚石薄膜的表面形貌、结晶质量以及晶粒取向进行了表征。结果表明，O2浓度在0~0.9%范围内，所制备的金刚石薄膜品质随着O2浓度的提升逐渐升高，当O2浓度达到0.9%时，所制备的金刚石薄膜品质最好，其杂质含量低，金刚石半高宽值达到6.2cm-1，且金刚石晶粒基本表现为（111）面生长，具有较高晶面取向。但当O2浓度超过到1.0%后，金刚石的生长会遭到