【摘 要】
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采用脉冲偏压电弧离子镀沉积系统,在W6Mo5Cr4V2高速钢基体上制备出不同成分的TiCx薄膜.通过扫描电镜、X射线衍射、X射线光电子谱及拉曼光谱对薄膜的表面形貌和微观结构进行分
【机 构】
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北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室 北京 100024北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室 北京 100024;大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室 大连116024;大
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采用脉冲偏压电弧离子镀沉积系统,在W6Mo5Cr4V2高速钢基体上制备出不同成分的TiCx薄膜.通过扫描电镜、X射线衍射、X射线光电子谱及拉曼光谱对薄膜的表面形貌和微观结构进行分析;采用纳米压痕和摩擦磨损试验来表征薄膜的力学性能.结果表明:所制备的薄膜为富碳TiCx薄膜,富碳成分均以非晶碳形式存在.随着非晶碳组分的增加,薄膜硬度和弹性模量逐渐降低,获得的最高值分别为36 GPa和381GPa,同时薄膜的摩擦系数在0.2～0.3之间.
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