【摘 要】
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介绍了一种实时监测全息光栅曝光过程的新方法.在曝光过程中,光刻胶折射率的空间分布发生微小变化,由此形成的潜像光栅同时对记录光束产生衍射(自衍射),探测一个非零级次的衍
【机 构】
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清华大学精密仪器系,北京,100084北京光学仪器厂光栅研究室,北京,101149;
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介绍了一种实时监测全息光栅曝光过程的新方法.在曝光过程中,光刻胶折射率的空间分布发生微小变化,由此形成的潜像光栅同时对记录光束产生衍射(自衍射),探测一个非零级次的衍射强度的变化就可对曝光过程实时监测.实验证明,这种技术能灵敏、客观地探测出样片之间由于个性差异所导致的最佳曝光量的漂移,制作者可以借此对曝光时间做实时补偿.发现自监测曲线之线性区的末端存在着一个明显的最佳曝光参考点,紧接其后是一个最佳曝光可选择区.采用了一个曝光模型,其模拟结果和实验中得到的自监测曲线能很好地吻合.理论分析证实,根据实时监测曲线的相对幅值来优化最佳曝光量的方法是很合理的,这种实时自监测是一种非常简单、能有效控制曝光量的技术.
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