超声喷雾热解法制备ZnO:Eu薄膜

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以醋酸锌(Zn(CH3COO)2)、氯化铕(EuCl3)水溶液为前驱体,采用超声喷雾热解(USP)方法在ITO导电玻璃衬底上沉积Eu掺杂ZnO(ZnO:Eu)薄膜。通过扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和光致发光(PL)谱对ZnO:Eu薄膜的形貌、结构和光学性质进行了研究。SEM测试结果表明,超声喷雾热解法制备的ZnO:Eu薄膜为致密的纳米颗粒薄膜,ZnO:Eu晶粒尺寸约在200~250 nm。XRD图谱表明,ZnO:Eu薄膜具有很好的六角纤锌矿结构,且在2θ=47.28°处出现Eu2O3
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