AlInAs／GaInAs异质结构隔离栅场效应晶体管（HIGFET）中的栅电流

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【摘要】

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ＡｌＩｎＡｓ／ＧａＩｎＡｓ异质结构隔离栅场效应晶体管（ＨＩＧＦＥＴ）中的栅电流＝ＧａｔｅｃｕｒｒｅｎｔｉｎＡｌＩｎＡｓ／ＧａＩｎＡｓｈｅｔｅｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｉｎｓｕｌａｔｅｄ－ｇａｔｅｆｉｅｌｄ－ｅｆｆｅｃｔｔｒａｎｓｉｓｔｏｒｓ（ＨＩＧＦＥＴ... Gate Current in AlInAs / GaInAs Heterojunction Isolation Gate Field Effect Transistors (HIGFETs) = Gate current in AlIn

【出处】

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微电子学

【发表日期】

：

1994年03期

【关键词】

：

场效应晶体管 AlInAs GaInAs HIGFET 异质结构隔离栅电流比栅长化学汽相淀积自对准

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