【摘 要】
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硅单晶在半导体材料中占有极其重要的位置,而多晶硅的质量又是单品硅质量的基础,多晶硅质量的好坏又取决于化学提纯。精馏塔乃是化学提纯方法必不可少的物质条件之一。要获
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硅单晶在半导体材料中占有极其重要的位置,而多晶硅的质量又是单品硅质量的基础,多晶硅质量的好坏又取决于化学提纯。精馏塔乃是化学提纯方法必不可少的物质条件之一。要获得高纯度的三氯氢硅,必须选择材料优质和高效的精馏塔。当前,聚四氟乙烯
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