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本文研究了硅基双层微机械悬臂梁在光热激励下的挠曲特性和频率特性 ,并利用建立的数学模型进行了模拟和优化。从而为新型传感器的研制提供了理论分析和优化设计的基础更多还原
光热激励的硅基双层微机械悬臂梁的特性研究及模拟优化
【摘 要】
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本文研究了硅基双层微机械悬臂梁在光热激励下的挠曲特性和频率特性 ,并利用建立的数学模型进行了模拟和优化。从而为新型传感器的研制提供了理论分析和优化设计的基础更多还
【机 构】
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西安交通大学!陕西西安710049,西安理工大学!陕西西安710048
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2000年1期
【基金项目】
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国家自然基金! (6 9776 0 37) ,陕西省计划科学研究资助! (97C12 )
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