【摘 要】
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在精密加工领域,为满足某些精密器件和设备的定位需求,研制了一种高精密定位平台。本定位平台以直线光栅尺为整个系统的位置反馈元件,以直流力矩电机为执行元件,采用摩擦驱动
【机 构】
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中国科学院长喜光学精密机械与物理研究所
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在精密加工领域,为满足某些精密器件和设备的定位需求,研制了一种高精密定位平台。本定位平台以直线光栅尺为整个系统的位置反馈元件,以直流力矩电机为执行元件,采用摩擦驱动的方式,结合PID算法,完成了高精度定位平台的设计。定位平台可以在200mm的行程范围内,平均定位精度可以达到150nm。同时,设计开发了上位机控制程序,使人机交互更加友好。
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