斜置式方形探针测量单晶断面电阻率分布mapping技术

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：nzj66

【摘要】

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介绍了一种应用斜置式方形探针测量单晶断面电阻率的测试方法，将Rymaszewski直线探针测试方法引入到方形探针测试，并对测试过程中产生的游移以及图像监控问题进行了讨论．应用此

【作者】

：

张艳辉孙以材刘新福陈志永

【机构】

：

河北工业大学微电子所

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2004年6期

【关键词】

：

四探针技术电阻率测量游移 Rymaszewski测试法 four-point probe techniqueresistivity measurementp

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介绍了一种应用斜置式方形探针测量单晶断面电阻率的测试方法，将Rymaszewski直线探针测试方法引入到方形探针测试，并对测试过程中产生的游移以及图像监控问题进行了讨论．应用此测试方法得到了75mm的全片电阻率分布的mapping图，测试结果表明该方法可以在测量区域明显减小的同时保证测量的精确性，是一种行之有效的测量方法．

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