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研究了伺服驱动器的电子齿轮功能和渐开线直齿圆柱齿轮齿廓偏差的测量原理,提出了一种基于电子齿轮功能的轴-轴跟踪测量齿廓偏差的方法,降低了数控系统的跟踪误差使仪器的测量精度得以提高,解决了标准轨迹法对控制系统本身性能及坐标轴之间的协调性要求较高,以及测头跟踪测量法自动循环测量实现困难的弊端。