【摘 要】
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串联超导量子干涉器件(superconducting quantum interference device,SQUID)阵列通过增加SQUID数量来达到提升信噪比的目的,即SQUID电压信号随SQUID数目比例增加而总电压噪声正比于SQUID数目的平方根值.本文介绍了利用自主工艺线进行串联SQUID阵列研究的相关研究进展,实现了SQUID数量分别为200和800的阵列集成,测试得到磁通噪声达到0.5μФ0/√Hz和输入电流灵敏度35μA/Ф0,等效输入电流噪声
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院超导电子学卓越创新中心,中国科学院大学
【基金项目】
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上海市自然科学基金(批准号:18ZR1447400)资助的课题.
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串联超导量子干涉器件(superconducting quantum interference device,SQUID)阵列通过增加SQUID数量来达到提升信噪比的目的,即SQUID电压信号随SQUID数目比例增加而总电压噪声正比于SQUID数目的平方根值.本文介绍了利用自主工艺线进行串联SQUID阵列研究的相关研究进展,实现了SQUID数量分别为200和800的阵列集成,测试得到磁通噪声达到0.5μФ0/√Hz和输入电流灵敏度35μA/Ф0,等效输入电流噪声
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