【摘 要】
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采用直流等离子体增强化学气相沉积技术（DC-PECVD）,通过控制基体负偏压的变化在YG8硬质合金基体上制备一系列类金刚石涂层。选用扫描电子显微镜、原子力显微镜、拉曼光谱、X射
【机 构】
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华东理工大学机械与动力工程学院,北京航空材料研究院,中航工业南方航空工业集团有限公司,华东理工大学机械与动力工程学院,赛屋涂层技术有限公司
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采用直流等离子体增强化学气相沉积技术（DC-PECVD）,通过控制基体负偏压的变化在YG8硬质合金基体上制备一系列类金刚石涂层。选用扫描电子显微镜、原子力显微镜、拉曼光谱、X射线光电子能谱、粗糙度仪对涂层形貌和结构进行表征测试。同时,利用显微硬度计、划痕测试仪系统地分析涂层的显微硬度和界面结合性能。结果表明：随着负偏压增大,涂层表面形貌逐渐平整光滑、致密,颗粒尺寸减小及数量降低。拉曼光谱表明,涂层具有典型的类金刚石结构,涂层中sp3键含量呈先增大后减小趋势,最大值约67.9%出现在负偏压为1000V左右,
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