一种大行程直线光栅尺自动检测系统

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【摘要】

：

为克服检测大量程直线光栅尺的困难，介绍一种大行程直线光栅尺自动检测系统，该系统刊用12m滚珠丝杠副提供位移驱动，利用三轴激光干涉仪作精密位置测量，利用PMAC卡作交流电机的闭

【作者】

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张海波唐杨超

【机构】

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黑龙江省计量检定测试院,哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所

【出处】

：

黑龙江科技信息

【发表日期】

：

2017年13期

【关键词】

：

滚珠丝杠辅助支撑检测机构直线光栅尺 Ball screwAuxiliary supportDetection mechanismLinear scale

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为克服检测大量程直线光栅尺的困难，介绍一种大行程直线光栅尺自动检测系统，该系统刊用12m滚珠丝杠副提供位移驱动，利用三轴激光干涉仪作精密位置测量，利用PMAC卡作交流电机的闭环控制，实现了对10m长度的直线光栅尺进行自动检测的功能在滚珠丝杠中间增加4个辅助支撑，介绍支撑结构，解决其过长而带来的塔腰问题，

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