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单晶硅、锗的超精密车削表面存在明暗相间的分布特征。本文主要对该现象的产生原因进行了研究,认为车削过程中垂直解理面的切削分力的连续变化是产生这种分布特征的主要因素,用AFM对加工表面微观形貌的检测结果充分地证明了该观点的正确性
应用AFM研究单晶硅、锗的超精密车削表面微观形貌
【摘 要】
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单晶硅、锗的超精密车削表面存在明暗相间的分布特征。本文主要对该现象的产生原因进行了研究,认为车削过程中垂直解理面的切削分力的连续变化是产生这种分布特征的主要因素,
【机 构】
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哈尔滨工业大学精密工程研究所!150001;
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2000年02期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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