【摘 要】
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通过结合自已的实际工作,分别从伺服进给机构,位置检测技术,数控及伺服控制等几个方面对超精密机床的定位系统进行了说明
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通过结合自已的实际工作,分别从伺服进给机构,位置检测技术,数控及伺服控制等几个方面对超精密机床的定位系统进行了说明
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