【摘 要】
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什么叫 MOCVD在最近4～5年迅速发展起来的Ⅲ—Ⅴ族半导体的制备技术中。人们议论最多的是MOCVD。但是人们对它的称呼还不统一,概括起来有四种叫法,除了上述一种外,还有三种叫
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什么叫 MOCVD在最近4～5年迅速发展起来的Ⅲ—Ⅴ族半导体的制备技术中。人们议论最多的是MOCVD。但是人们对它的称呼还不统一,概括起来有四种叫法,除了上述一种外,还有三种叫法被广泛地使用。MO 和 OM 是 Meial-organic 和 Organo-metallic 的缩写。在其后面附加上 CVD。那么前者就成为加金属的有机化学沉积技术,后者变为使用有机金属的化学沉积技术,就后半部的 CVD、VPE 而言,CVD 表示
What is MOCVD in the recent 4 to 5 years the rapid development of the Group III-V semiconductor manufacturing technology. The most talked about is MOCVD. But people do not call it the same, there are four kinds of names to sum up, in addition to the above, there are three kinds of names are widely used. MO and OM are short for Meial-organic and Organo-metallic. Behind it is CVD attached. Then the former becomes a metal-added organic chemical deposition technique, which becomes an organic metal-based chemical deposition technique, and in the latter half of CVD, VPE, CVD represents
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