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本文对目前用于提高亚半微以影光刻机成像分辨力、增大焦深的一些新技术；大数值孔径和短波长技术、倾斜照明技术、相移掩模技术、光瞳波技术，多焦面曝光技术以及表面成技术的和现状作了较为详细的阐述，提出了增大０．３５μｍ图表的分辨力和焦深的途径。
改善深亚微米光刻图形质量的途径
【摘 要】
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本文对目前用于提高亚半微以影光刻机成像分辨力、增大焦深的一些新技术；大数值孔径和短波长技术、倾斜照明技术、相移掩模技术、光瞳波技术，多焦面曝光技术以及表面成技术的和
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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LSI制造与测试
【发表日期】
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1997年4期
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