硅压力传感器版图的计算机辅助设计

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:songyingling
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介绍利用AutoLisp语言编程实现硅压力传感器版图自动生成的CAD系统,并给出C型压阻式压力传感器版图的设计实例. This paper introduces a CAD system that automatically generates a silicon pressure sensor layout by using AutoLisp language programming and gives a design example of a C type piezoresistive pressure sensor layout.
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