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介绍了一种新型离子源--霍尔无栅离子源,并论述了其工作原理.这种源不仅具有大束流、低能量和大辐照面积等优点,而且克服了现有的有栅离子源的技术局限性.实验结果证明,霍尔无栅离子源的离子流分布均匀性较好,离子束能量在30～120 eV范围内.
霍尔无栅离子源的离子束性能测试
【摘 要】
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介绍了一种新型离子源--霍尔无栅离子源,并论述了其工作原理.这种源不仅具有大束流、低能量和大辐照面积等优点,而且克服了现有的有栅离子源的技术局限性.实验结果证明,霍尔
【机 构】
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西安工业学院
【出 处】
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西安工业学院学报
【发表日期】
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2002年4期
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