霍尔无栅离子源相关论文
离子束辅助镀膜技术是受到国内外薄膜工作者重视的一种新技术,离子源是离子束辅助蒸发、离子束溅射等技术的关键装置.该文对一种新......
介绍了一种新型离子源--霍尔无栅离子源,并论述了其工作原理.这种源不仅具有大束流、低能量和大辐照面积等优点,而且克服了现有的......
基于离子束辅助镀膜技术,自主研制了一款新型霍尔无栅离子源,利用该离子源,采取离子束辅助沉积方法,在玻璃基底上镀制了多种光学薄......
