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选择了均匀沉淀法来制备氧化锌纳米颗粒,用PEG200进行表面改性,使制备的氧化锌纳米颗粒更加分散。利用X-射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEN)表征证明了制备样品是粒径约20nm的氧化锌纳米颗粒,结晶性良好、粒径均匀,单个颗粒呈米粒状,颗粒相连呈薄片状。最后通过半导体特性分析仪(Agilent 4156C)和精密阻抗特性分析仪(Agilent 4284A)分别测量了受不同力时的氧化锌纳米颗粒的特性粘度(I—V特性)和阻抗值,并进行分析,得出其力敏特性。分析得出氧化锌纳米颗粒应用于加速度传感器、压力传