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本文介绍了高压功率VDMOS器件对外延层的要求;讨论了n~-/n~+高阻厚层外延的工艺难点及解决办法。研制的n~-/n~+高阻厚层外延片已成功地运用于产品开发中,并取得了可喜的结果。
VDMOS用n^—／n^＋高阻厚层外延
【摘 要】
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本文介绍了高压功率VDMOS器件对外延层的要求;讨论了n~-/n~+高阻厚层外延的工艺难点及解决办法。研制的n~-/n~+高阻厚层外延片已成功地运用于产品开发中,并取得了可喜的结果
【机 构】
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中国华晶电子集团公司,中国华晶电子集团公司江苏无锡214035,江苏无锡214035,江苏无锡214035
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1992年5期
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