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期刊论文
SiGeC三元合金的研究进展
SiGeC三元合金的研究进展
来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xzlanxing
【摘 要】
:
SiGeC三元合金是一种新型的Ⅳ-Ⅳ族半导体材料,其中的碳可以为SiGe合金提供应变补偿,调节能带结构,提高热稳定性,从而有利于高性能光电器件的制备.本文总结了近年来关于SiGeC
【作 者】
:
赵雷
左玉华
王启明
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室
【出 处】
:
微纳电子技术
【发表日期】
:
2004年7期
【关键词】
:
SIGEC
应变补偿
能带偏移
制备
应用
SiGeC
strain compensation
band offset
preparation
applicat
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SiGeC三元合金是一种新型的Ⅳ-Ⅳ族半导体材料,其中的碳可以为SiGe合金提供应变补偿,调节能带结构,提高热稳定性,从而有利于高性能光电器件的制备.本文总结了近年来关于SiGeC的性能、制备和应用方面的若干研究结果,并对SiGeC进一步的研究方向提出了自己的建议.
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