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叙述了集成电路芯片加工用的湿化学品的分类,主要是超净高纯试剂和溶剂,以及如何达到国际半导体设备和材料协会所要求的C7、G8或C12规格的纯化方法.
微电子工业用湿化学品的生产和发展
【摘 要】
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叙述了集成电路芯片加工用的湿化学品的分类,主要是超净高纯试剂和溶剂,以及如何达到国际半导体设备和材料协会所要求的C7、G8或C12规格的纯化方法.
【机 构】
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上海市合成树脂研究所
【出 处】
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上海化工
【发表日期】
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2004年8期
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