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采用磁控共溅射方法制备了Co2MnAl哈斯勒合金薄膜。系统研究了衬底加热温度对Co2MnAl薄膜的晶体结构、磁学性质（饱和磁化强度和矫顽力）和表面粗糙度的影响。300℃时制备的Co2MnAl薄膜具有良好的B2晶体结构,显示了最大的饱和磁化强度和非常小的粗糙度。通过调控衬底加热温度,实现了Co2MnAl薄膜的矫顽力在400～2 785A/m范围的调控。