论文部分内容阅读
超精密机电系统是动力学敏感的大规模复杂系统，超精密运动机构是其核心部件。超精密机电系统达到纳米运动精度的根本技术手段是减小运动副的摩擦，消除产生内部扰动的因素，阻隔扰动传递，减小内部发热。为此，超精密运动机构结构设计采取的措施是采用浮动式运动副、柔性基础、刚柔耦合结构替代传统的接触运动副、刚性基础和刚体结构。但这种结构创新也带来了一系列新的问题与挑战，包括刚柔耦合运动机构构型与结构设计、运动副的电-磁-气-固-热耦合、基础柔性和刚柔耦合结构导致的动力学建模与计算的复杂性、动态误差评估、结构轻量化以及超精密减振等。目前，超精密机电系统结构设计与分析优化尚缺乏建模、分析、优化的系统化方法和工具支持。