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本文介绍了磁场在磁控溅射工艺中的作用，根据美国Airco公司镀膜生产线使用、维护、研究经验，详细地论述了如何通过调整靶材磁场，提高靶材利用率。
调整磁场提高靶材利用率
【摘 要】
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本文介绍了磁场在磁控溅射工艺中的作用，根据美国Airco公司镀膜生产线使用、维护、研究经验，详细地论述了如何通过调整靶材磁场，提高靶材利用率。
【机 构】
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洛玻集团洛阳晶润镀膜玻璃有限公司
【出 处】
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中国玻璃
【发表日期】
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2003年5期
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