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利用ＸＰＳ定量测量分子束外延生长的三元合金碲硫锌ＺｎＳ１－ｘＴｅｘ（０〈ｘ〈１）薄膜的组分ｘ，对比用高分辨率Ｘ射线双晶衍射技术的测量结果，相对误差小于１０％。
XPS定量测量三元合金ZnS1—xTex薄膜组分x的研究
【摘 要】
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利用ＸＰＳ定量测量分子束外延生长的三元合金碲硫锌ＺｎＳ１－ｘＴｅｘ（０〈ｘ〈１）薄膜的组分ｘ，对比用高分辨率Ｘ射线双晶衍射技术的测量结果，相对误差小于１０％。
【机 构】
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暨南大学物理学系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1999年2期
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