【摘 要】
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文章概述了脉冲电镀工艺的原理，尤其是对反向脉冲进行了详细介绍。文章对反向脉冲电镀中反向阶段电流的作用做了较详细探究，对不同反向电流大小和反向脉冲宽度（时间）在高厚径比通
【机 构】
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文章概述了脉冲电镀工艺的原理，尤其是对反向脉冲进行了详细介绍。文章对反向脉冲电镀中反向阶段电流的作用做了较详细探究，对不同反向电流大小和反向脉冲宽度（时间）在高厚径比通孔电镀上的作用进行了研究，并提出了相关作用机理。研究发现，通过控制脉冲电镀过程中反向作用电流的大小和时间，能够很容易地调节高厚径比通孔的镀通率。
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