聚5一苯基戊二烯叉丙二酸乙二酯和聚呋喃丙烯叉丙二酸乙二酯...

来源 :福建师范大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nanometer
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用改进后的新法合成了两种新型的聚酯型光致抗蚀剂——聚5-苯基戊二烯叉丙二酸乙二酯和聚吠喃丙烯叉丙二酸乙二酯。合成方法简单,反应时间短(6~8小时)。用80瓦汞灯,距离8厘米,所需最短曝光时间分别为10秒和3秒,分辨率达到0.6微米。粘附性能好,抗蚀性强,加入染料后可用作氦氖激光全息照像记录介质。
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