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本文基于原子扩散理论模型,试图介绍一种蓝宝石芯片直接键合技术,给出一定扩散距离下键合温度与键合时间的关系;开展了蓝宝石芯片键合的试验研究;初步制作了键合样品。经测试,键合强度达到0.5 MPa,验证了蓝宝石芯片直接键合的可行性。
基于原子扩散的蓝宝石芯片键合技术研究
【摘 要】
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本文基于原子扩散理论模型,试图介绍一种蓝宝石芯片直接键合技术,给出一定扩散距离下键合温度与键合时间的关系;开展了蓝宝石芯片键合的试验研究;初步制作了键合样品。经测试
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电工程学院,中国电子科技集团公司第四十九研究所
【出 处】
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中国电子科学研究院学报
【发表日期】
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2016年2期
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