【摘 要】
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提出了一种新型的非接触电容式小孔孔径测量方法，设计了专用测头，组建了小孔孔径自动测量系统。该系统采用视觉CCD和二维微调整机构，实现了精确的定位。用VC＋＋6．0开发了应用软件，用
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
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提出了一种新型的非接触电容式小孔孔径测量方法，设计了专用测头，组建了小孔孔径自动测量系统。该系统采用视觉CCD和二维微调整机构，实现了精确的定位。用VC＋＋6．0开发了应用软件，用来控制系统的自动运行，并完成标定、数据采集和数据处理。实验结果表明：此系统分辨率可以达到0．5μm，重复性实验标准差可以达到0．81μm。
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